通常我们可以对同一个标准样品连续测量50次，考察各个元素的RSD相对标准偏差来考证一个设备的性能。如果光谱仪的硬件技术不过关，仪器的稳定性是没法保证的。设备的灵敏度，也就是检测下限。通常很多厂家吹嘘仪器的检出限可以达到1ppm，Compass 900 便携式测金仪哪里有，这其实都是销售人员的吹嘘。客户可以跟进自己手里的实际样品来检测设备在检测低含量样品时候的表现。比如可以测试塑料里面50ppm的Cl氯元素。
XRF用光或其他激发源照射待分析样品，样品中的元素之内层电子被击出后，造成核外电子的跃迁，在被激发的电子返回基态的时候，会出特征光；不同的元素会出各自的特征光，具有不同的能量或波长特性。检测器(Detector)接受这些光，仪器软件系统将其转为对应的信号。这一现象广泛用于元素分析和化学分析，特别是在研究金属，玻璃，陶瓷和建筑材料，以及在地球化学研究、法医学、电子产品进料品管
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